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发明专利发明专利
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MEMS压电传感器系统三维封装结构及其散热方法
专利号:202310287939X
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发明专利发明专利
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一种MEMS加速度计非线性误差补偿方法
专利号:2022110464187
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发明专利发明专利
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MEMS气体压力敏感元件及其制造工艺(高校公示15天)(不包年费滞纳金)(需要二变)
专利号:2017112642205
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发明专利发明专利
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一种绝压接触式MEMS电容薄膜真空传感器(高校公示15天)(不包年费滞纳金)(需要二变)
专利号:2022115151579
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发明专利发明专利
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基于MEMS-OCT微纳探头的航空发动机异形涂层检测方法及系统(高校公示15天)(不包年费滞纳金)(需要二变)
专利号:2025105111672
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发明专利发明专利
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MEMS陀螺仪动态数据的滤波方法(高校公示15天)(不包年费滞纳金)(需要二变)
专利号:2017113966127
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发明专利发明专利
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MEMS电流型气体传感器(高校公示15天)(不包年费滞纳金)(需要二变)
专利号:2025120080219
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发明专利发明专利
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一种基于碳纳米管的MEMS复合真空计及其实现方法(高校公示15天)(不包年费滞纳金)(需要二变)
专利号:202411034625X
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发明专利发明专利
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一种PDDA-PANI/MEMS复合湿度传感器及其制备方法(高校公示15天)(不包年费滞纳金)(需要二变)
专利号:2024109631915
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发明专利发明专利
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一种MEMS-IMU和Wi-Fi组合的室内行人定位方法(高校公示15天)(不包年费滞纳金)(需要二变)
专利号:2022108767001
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发明专利发明专利
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一种单通道模式I2S接口MEMS麦克风单差分总线传输方法(高校公示15天)(不包年费滞纳金)(需要二变)
专利号:2022115517621
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发明专利发明专利
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一种无运动状态检测器的电磁式MEMS微镜的驱动电路(高校公示15天)(不包年费滞纳金)(需要二变)
专利号:2018108544878
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发明专利发明专利
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基于MEMS的GNSS/IMU车载实时组合导航方法(高校公示15天)(不包年费滞纳金)(需要二变)
专利号:2018100424168
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发明专利发明专利
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基于F-P干涉的复合式MEMS矢量水听器(高校公示15天)(不包年费滞纳金)(需要二变)
专利号:2021113691671
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发明专利发明专利
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一种应急状况下人员MEMS集成推进式自主定位装置及方法(高校公示15天)(不包年费滞纳金)(需要二变)
专利号:2025110795906
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发明专利发明专利
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MEMS气体传感器及其制作方法
专利号:2024108404789
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一种扑翼飞行器多级缓冲磁驱鸟爪系统及工作方法(仿生扑翼机器人、微型飞行器、特种机器人、轻量化机械手、废墟搜救抓取、管道巡检)
专利号:2025114452816
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MEMS传感器及其制造方法(高校公示15天)(不包年费滞纳金)(需要二变)
专利号:2025113950176
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标量域MEMS惯性系统标定方法(高校公示15天)(不包年费滞纳金)(需要二变)
专利号:2018111076981
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一种基于极大似然估计算法的MEMS三轴加速度计标定方法(高校公示15天)(不包年费滞纳金)(需要二变)
专利号:2019103806578
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发明专利发明专利
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阵列式MEMS传感器SPI并行数据采集电路及传感系统(高校公示15天)(不包年费滞纳金)(需要二变)
专利号:2020107518765
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发明专利发明专利
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一种硅基网状石墨烯MEMS传感器及其制备方法(高校公示15天)(不包年费滞纳金)(需要二变)
专利号:201911265551X
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发明专利发明专利
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一种双层MEMS热电堆结构(高校公示15天)(不包年费滞纳金)(需要二变)
专利号:2018114857757
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发明专利发明专利
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一种用于MEMS摩阻传感器封装的多通道吸附装置(高校公示15天)(不包年费滞纳金)(需要二变)
专利号:2021101352008
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磁力计信息辅助的MEMS陀螺仪标定方法及标定系统(高校公示15天)(不包年费滞纳金)(需要二变)
专利号:2021101135010
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发明专利发明专利
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基于MEMS谐振器的无线无源测温系统及其测温方法(高校公示15天)(不包年费滞纳金)(需要二变)
专利号:2024115285055
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发明专利发明专利
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一种基于压电厚膜MEMS工艺的微能量采集器及其制备方法(高校公示15天)(不包年费滞纳金)(需要二变)
专利号:2017111000121
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发明专利发明专利
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一种MEMS陀螺零偏温漂抑制方法、系统及MEMS陀螺仪(高校公示15天)(不包年费滞纳金)(需要二变)
专利号:2025105875597
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发明专利发明专利
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一种MEMS三维力传感器及其制备方法(高校公示15天)(不包年费滞纳金)(需要二变)
专利号:2024100937041
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发明专利发明专利
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基于MEMS扫描微镜的发射方向可控的蓝光微LED器件及其制备方法(高校公示15天)(不包年费滞纳金)(需要二变)
专利号:2019111324488
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发明专利发明专利
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单芯片多敏感单元的中心轴对称MEMS陀螺仪(高校公示15天)(不包年费滞纳金)(需要二变)
专利号:2019100425894
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发明专利发明专利
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一种MEMS多层薄膜材料杨氏模量在线提取装置及方法(高校公示15天)(不包年费滞纳金)(需要二变)
专利号:2021113550067
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发明专利发明专利
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一种MEMS双层薄膜热膨胀系数测量装置及方法(高校公示15天)(不包年费滞纳金)(需要二变)
专利号:2024115918147
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发明专利发明专利
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一种基于冗余技术的MEMS惯性定位系统航向优化方法
专利号:2022100425576
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实用新型实用新型
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一种控制微簧板间垂直度的方法及装置
专利号: 2022103196456
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发明专利发明专利
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一种MEMS光谐振式加速度计(高校公示15天)(不包年费滞纳金)(需要二变)
专利号:2025114323389
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发明专利发明专利
特价
一种硅基自由空间型光学MEMS加速度计及制造方法(高校公示15天)(不包年费滞纳金)(需要二变)
专利号:2025112897355
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发明专利发明专利
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一种测试平台角度可调的离心式毫-微牛级附着力测试系统(高校生物及昆虫学研究微小作用力精密测量微机电系统(MEMS)研发)
专利号:2021107159381
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发明专利发明专利
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一种MEMS三维隧道结构
专利号:2017115001975
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发明专利发明专利
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一种用于干燥粉末的多孔式MEMS气体传感器
专利号:2022116432156
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