一种MEMS光谐振式加速度计（高校公示15天）（不包年费滞纳金）（需要二变）

本发明公开了一种MEMS光谐振式加速度计，属于微纳机电系统与光学传感领域。该加速度计包括玻璃基座、硅微结构层、安全结构组、双象限光电探测器及光源；玻璃基座中心设双象限光电探测器；硅微结构层具有通过四组垂直力放大单元连接的受力基座和质量块；受力基座四角设折叠梁式安全结构；质量块中心设圆形透光孔且与双象限光电探测器共轴对齐，两侧对称布置静电梳齿驱动器组以激励谐振；光源发射垂直光束经透光孔被双象限光电探测器接收；加速度作用于受力基座时，惯性力经杠杆机构放大转换为质量块的轴向应力，调制其谐振频率；当光强信号相位滞后驱动信号90°时，系统锁定谐振状态，通过频率偏移解算加速度，实现加速度高精度测量。

《一种MEMS光谐振式加速度计（高校公示15天）（不包年费滞纳金）（需要二变）》是一发明专利，专利号为 2025114323389，当前法律状态为已下证，由南京信息工程大学提出申请，发明人为李紫彤;钟建华;郭鑫;王慧怡;章邦炬，申请日期为2025-10-09，公开（公告）日期为2025-11-28，国际专利分类号（IPC）为 G01P15/08(2006.01)I。该专利已下发证书，权利稳定，适合直接办理转让过户，是企业申报高企、项目招投标、质押融资的优质标的。赋翼网提供从选品、尽调、合同签订到官方著录项目变更（过户）的一站式专利转让服务，专业顾问全程协助，确保交易合规、安全、高效。专利摘要：本发明公开了一种MEMS光谐振式加速度计，属于微纳机电系统与光学传感领域。该加速度计包括玻璃基座、硅微结构层、安全结构组、双象限光电探测器及光源；玻璃基座中心设双象限光电探测器；硅微结构层具有通过四组垂直力放大单元连接的受力基座和质量块；受力基座四角设折叠梁式安全结构；质量块中心设圆形透光孔且与双象限光电探测器共轴对齐，两侧对称布置静电梳齿驱动器组以激励谐振；光源发射垂直光束经透光孔被双象限光电探测器接收；加速度作用于受力基座时，惯性力经杠杆机构放大转换为质量块的轴向应力，调制其谐振频率；当光强信号相位滞后驱动信号90°时，系统锁定谐振状态，通过频率偏移解算加速度，实现加速度高精度测量。

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