一种MEMS多层薄膜材料杨氏模量在线提取装置及方法（高校公示15天）（不包年费滞纳金）（需要二变）

本发明公开了多层薄膜材料技术领域的一种MEMS多层薄膜材料杨氏模量在线提取装置及方法，装置包括若干组悬臂梁结构，其中，第m组悬臂梁结构中的多层薄膜材料的层数为m，m＝1，2，···，n，n为待测多层薄膜材料的总层数；在每组悬臂梁结构中，包括固定在衬底材料同一表面上的锚区、驱动电极和接触电极，由多层薄膜材料形成的悬臂梁的一端固定于所述锚区，另一端位于所述接触电极的上方，驱动电极位于锚区和接触电极之间，且位于多层薄膜材料的下方。本发明通过合理设置电极的位置，避开吸合这种不稳定状态，设计的MEMS多层薄膜材料杨氏模量在线提取装置及方法具有操作简单，成本低，测量速度快，通用性强，可重复性高的优点。

《一种MEMS多层薄膜材料杨氏模量在线提取装置及方法（高校公示15天）（不包年费滞纳金）（需要二变）》是一发明专利，专利号为 2021113550067，当前法律状态为已下证，由河海大学提出申请，发明人为刘海韵;王慧斌;张振;陈哲;张丽丽，申请日期为2021-11-16，公开（公告）日期为2024-06-11，国际专利分类号（IPC）为 G01N27/00(2006.01)I，高新资质：未报高企。该专利已下发证书，权利稳定，适合直接办理转让过户，是企业申报高企、项目招投标、质押融资的优质标的。赋翼网提供从选品、尽调、合同签订到官方著录项目变更（过户）的一站式专利转让服务，专业顾问全程协助，确保交易合规、安全、高效。专利摘要：本发明公开了多层薄膜材料技术领域的一种MEMS多层薄膜材料杨氏模量在线提取装置及方法，装置包括若干组悬臂梁结构，其中，第m组悬臂梁结构中的多层薄膜材料的层数为m，m＝1，2，···，n，n为待测多层薄膜材料的总层数；在每组悬臂梁结构中，包括固定在衬底材料同一表面上的锚区、驱动电极和接触电极，由多层薄膜材料形成的悬臂梁的一端固定于所述锚区，另一端位于所述接触电极的上方，驱动电极位于锚区和接触电极之间，且位于多层薄膜材料的下方。本发明通过合理设置电极的位置，避开吸合这种不稳定状态，设计的MEMS多层薄膜材料杨氏模量在线提取装置及方法具有操作简单，成本低，测量速度快，通用性强，可重复性高的优点。

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