一种基于碳纳米管的MEMS复合真空计及其实现方法（高校公示15天）（不包年费滞纳金）（需要二变）
发明专利本发明提供的复合真空计包括碳纳米管MEMS皮拉尼真空计和碳纳米管MEMS热阴极电离真空计以及控制系统：碳纳米管MEMS皮拉尼真空计包括衬底、碳纳米管和金属电极；碳纳米管MEMS热阴极电离真空计包括衬底、碳纳米管、金属电极、支撑结构一、栅极、支撑结构二和离子收集极；控制系统用于控制两种真空计的开启和关闭。本发明以悬空的碳纳米管作为加热元件，将MEMS皮拉尼真空计量程上限拓展至不低于10
《一种基于碳纳米管的MEMS复合真空计及其实现方法（高校公示15天）（不包年费滞纳金）（需要二变）》是一发明专利，专利号为 202411034625X，当前法律状态为已下证，由湖南大学提出申请，发明人为王雨薇;刘晨溪，申请日期为2024-07-31，公开（公告）日期为2024-11-29，国际专利分类号（IPC）为 G01L 21/32 (2006.01)，高新资质：未报高企。该专利已下发证书，权利稳定，适合直接办理转让过户，是企业申报高企、项目招投标、质押融资的优质标的。赋翼网提供从选品、尽调、合同签订到官方著录项目变更（过户）的一站式专利转让服务，专业顾问全程协助，确保交易合规、安全、高效。专利摘要：本发明提供的复合真空计包括碳纳米管MEMS皮拉尼真空计和碳纳米管MEMS热阴极电离真空计以及控制系统：碳纳米管MEMS皮拉尼真空计包括衬底、碳纳米管和金属电极；碳纳米管MEMS热阴极电离真空计包括衬底、碳纳米管、金属电极、支撑结构一、栅极、支撑结构二和离子收集极；控制系统用于控制两种真空计的开启和关闭。本发明以悬空的碳纳米管作为加热元件，将MEMS皮拉尼真空计量程上限拓展至不低于10
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