一种硅基自由空间型光学MEMS加速度计及制造方法（高校公示15天）（不包年费滞纳金）（需要二变）

本发明提供了一种硅基自由空间型光学MEMS加速度计及制造方法，所述加速度计上层为玻璃基底自由空间光学敏感结构、下层为硅基水平轴MEMS敏感结构，上层结构通过键合工艺固定于下层结构之上。其中上层光学敏感结构由一对迈克尔逊干涉仪、一个玻璃锚点和一个玻璃质量块组成；下层MEMS敏感结构由四组悬臂梁、一个硅锚点和一个硅质量块组成。下层MEMS敏感结构将水平轴输入加速度转换为硅质量块位移，该位移同步传递至玻璃质量块，反向布置的一对迈克尔逊干涉仪将位移转换为干涉光相位的反向变换，从而实现加速度的高精度差分检测。本发明提出的微光学加速计方案具有检测灵敏度高、抗共模误差能力强、集成度高的突出优点。

《一种硅基自由空间型光学MEMS加速度计及制造方法（高校公示15天）（不包年费滞纳金）（需要二变）》是一发明专利，专利号为 2025112897355，当前法律状态为已下证，由南京信息工程大学提出申请，发明人为李成;邓喆兮;袁榕;孙昊;陆强强;郭鑫，申请日期为2025-09-10，公开（公告）日期为2025-11-18，国际专利分类号（IPC）为 G01P15/093(2006.01)I;B81B7/02(2006.01)I;B81C1/00(2006.01)I。该专利已下发证书，权利稳定，适合直接办理转让过户，是企业申报高企、项目招投标、质押融资的优质标的。赋翼网提供从选品、尽调、合同签订到官方著录项目变更（过户）的一站式专利转让服务，专业顾问全程协助，确保交易合规、安全、高效。专利摘要：本发明提供了一种硅基自由空间型光学MEMS加速度计及制造方法，所述加速度计上层为玻璃基底自由空间光学敏感结构、下层为硅基水平轴MEMS敏感结构，上层结构通过键合工艺固定于下层结构之上。其中上层光学敏感结构由一对迈克尔逊干涉仪、一个玻璃锚点和一个玻璃质量块组成；下层MEMS敏感结构由四组悬臂梁、一个硅锚点和一个硅质量块组成。下层MEMS敏感结构将水平轴输入加速度转换为硅质量块位移，该位移同步传递至玻璃质量块，反向布置的一对迈克尔逊干涉仪将位移转换为干涉光相位的反向变换，从而实现加速度的高精度差分检测。本发明提出的微光学加速计方案具有检测灵敏度高、抗共模误差能力强、集成度高的突出优点。

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