一种用于干燥粉末的多孔式MEMS气体传感器
发明专利本发明适用于空气检测技术领域，提供了一种用于干燥粉末的多孔式MEMS气体传感器，包括绝缘套框和贴合在绝缘套框顶部中间位置的顶盖，所述顶盖的顶部开设有等距离呈环形分布的透气孔，且顶盖的外围和绝缘套框的外围设置有同一个外壳，所述顶盖的两侧与外壳的两侧之间设置有拆装组件，所述绝缘套框的内部设置有MEMS气体传感器组装组件，所述顶盖的顶部内壁中间位置固定安装有微型电机，本发明中形成较好的清理结构，避免高浓度粉末残留在气体传感器的表面以及内部严重影响传感器的持续使用以及多次利用，防止造成整个MEMS气体传感器不灵敏的现象，实现对敏感元件进行更换的效果，避免长期使用后敏感元件出现损坏造成无法工作的问题。
《一种用于干燥粉末的多孔式MEMS气体传感器》是一发明专利，专利号为 2022116432156，当前法律状态为已下证，由冯洋提出申请，发明人为马庆功;尹晓涵;李欢钊;张傲东;杨洪，申请日期为2022-12-20，公开（公告）日期为2024-06-14，国际专利分类号（IPC）为 G01N15/06(2024.01)I;G01N27/12(2006.01)I;B08B1/16(2024.01)I;B08B1/32(2024.01)I;B08B5/02(2006.01)I，高新资质：未报高企，所属技术领域包括：气体传感器、空气检测。该专利已下发证书，权利稳定，适合直接办理转让过户，是企业申报高企、项目招投标、质押融资的优质标的。赋翼网提供从选品、尽调、合同签订到官方著录项目变更（过户）的一站式专利转让服务，专业顾问全程协助，确保交易合规、安全、高效。专利摘要：本发明适用于空气检测技术领域，提供了一种用于干燥粉末的多孔式MEMS气体传感器，包括绝缘套框和贴合在绝缘套框顶部中间位置的顶盖，所述顶盖的顶部开设有等距离呈环形分布的透气孔，且顶盖的外围和绝缘套框的外围设置有同一个外壳，所述顶盖的两侧与外壳的两侧之间设置有拆装组件，所述绝缘套框的内部设置有MEMS气体传感器组装组件，所述顶盖的顶部内壁中间位置固定安装有微型电机，本发明中形成较好的清理结构，避免高浓度粉末残留在气体传感器的表面以及内部严重影响传感器的持续使用以及多次利用，防止造成整个MEMS气体传感器不灵敏的现象，实现对敏感元件进行更换的效果，避免长期使用后敏感元件出现损坏造成无法工作的问题。
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