一种光刻机物镜结构

本发明涉及光刻机物镜技术领域，尤其为一种光刻机物镜结构，包括物镜主体、水冷装置和散热装置，所述物镜主体外侧与水冷装置固定连接，所述水冷装置远离物镜主体的一侧与散热装置固定连接，所述物镜主体包括外壳、镜片主体和定位装置，所述外壳的个数共有四个，且四个所述外壳在镜片主体外侧呈均匀分布，所述镜片主体外侧设置在外壳一侧，本发明中，通过设置的外壳、镜片主体、固定盖、定位装置、夹持块、推板、螺丝、连接板、定位环、螺栓和定位主体，可以方便的对镜片主体和水冷装置进行组装，同时在夹持板对外壳进行夹持时，在第一弹簧的作用下，使限位板可以对两个外壳进行夹持，使外壳安装更加稳定，方便对镜片主体进行安装和拆卸。

《一种光刻机物镜结构》是一发明专利，专利号为 202310719268X，当前法律状态为已下证，由张家港奇点光电科技有限公司提出申请，发明人为谭军;朱晓春;李勇，公开（公告）日期为2026-08-14，国际专利分类号（IPC）为 G03F7/20(2006.01)I，高新资质：未报高企，所属技术领域包括：半导体，芯片，电子元器件，光学，储存芯片，储存，集成电路，光刻机，晶圆，电子元件。该专利已下发证书，权利稳定，适合直接办理转让过户，是企业申报高企、项目招投标、质押融资的优质标的。赋翼网提供从选品、尽调、合同签订到官方著录项目变更（过户）的一站式专利转让服务，专业顾问全程协助，确保交易合规、安全、高效。专利摘要：本发明涉及光刻机物镜技术领域，尤其为一种光刻机物镜结构，包括物镜主体、水冷装置和散热装置，所述物镜主体外侧与水冷装置固定连接，所述水冷装置远离物镜主体的一侧与散热装置固定连接，所述物镜主体包括外壳、镜片主体和定位装置，所述外壳的个数共有四个，且四个所述外壳在镜片主体外侧呈均匀分布，所述镜片主体外侧设置在外壳一侧，本发明中，通过设置的外壳、镜片主体、固定盖、定位装置、夹持块、推板、螺丝、连接板、定位环、螺栓和定位主体，可以方便的对镜片主体和水冷装置进行组装，同时在夹持板对外壳进行夹持时，在第一弹簧的作用下，使限位板可以对两个外壳进行夹持，使外壳安装更加稳定，方便对镜片主体进行安装和拆卸。

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