一种高调制带宽高散热MINI型深紫外LED及其制备方法

本发明提供一种高调制带宽高散热MINI型深紫外LED及其制备方法，包括，依次生长于衬底上的缓冲层、分布式布拉格反射镜结构、外延结构、p型电极和填充金属层，其衬底经减薄后刻蚀形成有多个柱状通孔，该填充金属层具有平台和分布于平台上的多个金属柱，金属柱位于柱状通孔内，其采用分布式布拉格反射镜结构增大出光效率，且应用晶格匹配的多量子阱层，有效降低了量子限制斯达克效应，增大了内量子效率，极大地提高了产品的可靠性和稳定性；本发明的制备方法获得的器件，晶体质量更高、出光更均匀、散热性能更好，且由于器件尺寸小，获得更小的时间常数和更小的载流子寿命，提高了调制带宽，增强了在日盲紫外通信方面的应用。

《一种高调制带宽高散热MINI型深紫外LED及其制备方法》是一发明专利，专利号为 2022110886263，当前法律状态为已下证，由华南师范大学提出申请，发明人为尹以安;谢雅芳，申请日期为2022-09-07，公开（公告）日期为2026-02-13，国际专利分类号（IPC）为 H10H 20/01 (2025.01)，高新资质：未报高企，所属技术领域包括：半导体 日盲紫外通信；光通信；杀菌消毒；紫外固化；水净化；空气净化；医疗。该专利已下发证书，权利稳定，适合直接办理转让过户，是企业申报高企、项目招投标、质押融资的优质标的。赋翼网提供从选品、尽调、合同签订到官方著录项目变更（过户）的一站式专利转让服务，专业顾问全程协助，确保交易合规、安全、高效。专利摘要：本发明提供一种高调制带宽高散热MINI型深紫外LED及其制备方法，包括，依次生长于衬底上的缓冲层、分布式布拉格反射镜结构、外延结构、p型电极和填充金属层，其衬底经减薄后刻蚀形成有多个柱状通孔，该填充金属层具有平台和分布于平台上的多个金属柱，金属柱位于柱状通孔内，其采用分布式布拉格反射镜结构增大出光效率，且应用晶格匹配的多量子阱层，有效降低了量子限制斯达克效应，增大了内量子效率，极大地提高了产品的可靠性和稳定性；本发明的制备方法获得的器件，晶体质量更高、出光更均匀、散热性能更好，且由于器件尺寸小，获得更小的时间常数和更小的载流子寿命，提高了调制带宽，增强了在日盲紫外通信方面的应用。

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