一种像素型硅漂移探测器及其制作方法
本发明提供了一种像素型硅漂移探测器,由像素单元阵列而成;所述像素单元包括中间收集电极、第一阴极环、第二阴极环、基体和反面入射窗口;所述中间收集电极为阳极,掺杂于基体顶部中心位置;第一阴极环和第二阴极环为阴极,掺杂于基体顶部,第一阴极环和第二阴极环沿相反方向环绕中间收集电极分布;反面入射窗口的电极为阴极,掺杂于基体底部;所述阳极和阴极上面均镀有铝膜;每个像素单元之间的第一阴极环之间相连,第二阴极环之间相连。本发明提供的探测器阳极电容小,功耗小,可以测量0.5到15keV之间的x射线,具有几微秒的时间分辨率和快速读出的特点,无死区,对低能量光子具有良好的探测器量子效率。
《一种像素型硅漂移探测器及其制作方法》是一发明专利,专利号为 202210456171X,当前法律状态为已下证,由湖南脉探芯半导体科技有限公司提出申请,发明人为唐立鹏;李正,申请日期为2022-04-27,公开(公告)日期为2026-06-16,国际专利分类号(IPC)为 H10F 39/12 (2025.01),高新资质:未报高企,所属技术领域包括:硅像素探测器、三维粒子探测、位置分辨、封装 / 制冷、器件集成。该专利已下发证书,权利稳定,适合直接办理转让过户,是企业申报高企、项目招投标、质押融资的优质标的。赋翼网提供从选品、尽调、合同签订到官方著录项目变更(过户)的一站式专利转让服务,专业顾问全程协助,确保交易合规、安全、高效。专利摘要:本发明提供了一种像素型硅漂移探测器,由像素单元阵列而成;所述像素单元包括中间收集电极、第一阴极环、第二阴极环、基体和反面入射窗口;所述中间收集电极为阳极,掺杂于基体顶部中心位置;第一阴极环和第二阴极环为阴极,掺杂于基体顶部,第一阴极环和第二阴极环沿相反方向环绕中间收集电极分布;反面入射窗口的电极为阴极,掺杂于基体底部;所述阳极和阴极上面均镀有铝膜;每个像素单元之间的第一阴极环之间相连,第二阴极环之间相连。本发明提供的探测器阳极电容小,功耗小,可以测量0.5到15keV之间的x射线,具有几微秒的时间分辨率和快速读出的特点,无死区,对低能量光子具有良好的探测器量子效率。
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