一种晶圆旋转喷淋清洗装置（报过项目）

本发明公开了一种晶圆旋转喷淋清洗装置，涉及到清洗装置领域，包括清洗槽，清洗槽内设置有两组夹持组件，夹持组件均包括若干组夹持单元和驱动单元，两组夹持单元交替夹持晶圆片；驱动单元用于驱动夹持单元进行交替动作，夹持单元包括第一夹持片和第二夹持片，夹持组件还包括转换单元，当驱动单元推动第一夹持片移动时。通过设置两组夹持组件交替对晶圆片进行夹持，防止晶圆片的夹持位置始终被遮挡，能够对晶圆片的表面杂质进行清洗，能够在清洗中保持对晶圆片的夹持，使晶圆片更稳定，通过多组清洗单元对晶圆片进行夹持，能够同时清洗多个晶圆片，提高清洗效率，防止晶圆片在清洗中存在因夹持始终被遮挡的区域，对晶圆片的清洗效果更好。

《一种晶圆旋转喷淋清洗装置（报过项目）》是一发明专利，专利号为 2023114054650，当前法律状态为已下证，由深圳市星国华先进装备科技有限公司提出申请，发明人为尹明清，申请日期为2023-10-27，公开（公告）日期为2024-02-06，国际专利分类号（IPC）为 H01L 21/687 (2006.01)，高新资质：已报高企，所属技术领域包括：半导体生产加工、半导体晶圆生产加工、集成电路芯片晶圆片、晶圆清洗。该专利已下发证书，权利稳定，适合直接办理转让过户，是企业申报高企、项目招投标、质押融资的优质标的。赋翼网提供从选品、尽调、合同签订到官方著录项目变更（过户）的一站式专利转让服务，专业顾问全程协助，确保交易合规、安全、高效。专利摘要：本发明公开了一种晶圆旋转喷淋清洗装置，涉及到清洗装置领域，包括清洗槽，清洗槽内设置有两组夹持组件，夹持组件均包括若干组夹持单元和驱动单元，两组夹持单元交替夹持晶圆片；驱动单元用于驱动夹持单元进行交替动作，夹持单元包括第一夹持片和第二夹持片，夹持组件还包括转换单元，当驱动单元推动第一夹持片移动时。通过设置两组夹持组件交替对晶圆片进行夹持，防止晶圆片的夹持位置始终被遮挡，能够对晶圆片的表面杂质进行清洗，能够在清洗中保持对晶圆片的夹持，使晶圆片更稳定，通过多组清洗单元对晶圆片进行夹持，能够同时清洗多个晶圆片，提高清洗效率，防止晶圆片在清洗中存在因夹持始终被遮挡的区域，对晶圆片的清洗效果更好。

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