一种芯片自动化检测系统及方法
本发明涉及芯片自动化检测技术领域,且公开了一种芯片自动化检测系统及方法,包括:记芯片内部的气泡在x光照射下所形成的图形为投影图形;对投影图形执行圆域规划策略,得到投影图形所在的圆,记为执行圆;获取执行矩形中所有的投影图形对应的执行圆,组成执行圆集;执行预划分策略,得到多个执行单元;针对任意一个执行单元;获取执行单元中执行圆的数量,记为第一侧面数量;当第一侧面数量>0,执行立体检测策略,得到执行截面上执行圆的体积;根据阈值比例,执行合格判定策略,判断芯片是否合格。通过用x光照射芯片的三个侧面,估算芯片内部的气泡数量,计算气泡空隙率判断芯片是否合格,简化检测步骤,提高检测的效率。
《一种芯片自动化检测系统及方法》是一发明专利,专利号为 2024117771039,当前法律状态为已下证,由如东汇盛通半导体科技有限公司提出申请,发明人为丁桃宝,申请日期为2024-12-05,公开(公告)日期为2025-12-30,国际专利分类号(IPC)为 G01N 23/04 (2018.01),高新资质:未报高企,所属技术领域包括:半导体 集成电路 芯片检测。该专利已下发证书,权利稳定,适合直接办理转让过户,是企业申报高企、项目招投标、质押融资的优质标的。赋翼网提供从选品、尽调、合同签订到官方著录项目变更(过户)的一站式专利转让服务,专业顾问全程协助,确保交易合规、安全、高效。专利摘要:本发明涉及芯片自动化检测技术领域,且公开了一种芯片自动化检测系统及方法,包括:记芯片内部的气泡在x光照射下所形成的图形为投影图形;对投影图形执行圆域规划策略,得到投影图形所在的圆,记为执行圆;获取执行矩形中所有的投影图形对应的执行圆,组成执行圆集;执行预划分策略,得到多个执行单元;针对任意一个执行单元;获取执行单元中执行圆的数量,记为第一侧面数量;当第一侧面数量>0,执行立体检测策略,得到执行截面上执行圆的体积;根据阈值比例,执行合格判定策略,判断芯片是否合格。通过用x光照射芯片的三个侧面,估算芯片内部的气泡数量,计算气泡空隙率判断芯片是否合格,简化检测步骤,提高检测的效率。
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