一种用于半导体及光电子无尘室的减震基座

所属领域:集成电路无尘车间机台载重基座 承重防微震基座 半导体光电子无尘室刚性基座 隔振基座 高架地板 耗散型静电地板 半导体洁净室设备防震基座 光刻机可调支脚座 焊接转盘 集成电路设备半导体无尘室减震、光电子设备隔振、无尘级防震基座、精密设备减震结构、洁净室阻尼隔振半导体无尘室减震基座、光电子设备防震基座、无尘室精密设备隔振底座、洁净车间设备减震台晶圆厂无尘室减震基座、芯片生产设备隔振底座、光电子洁净室防震台、半导体封装测试减震基座、光学器件生产隔振装置、无尘室精密仪器减震台、洁净车间阻尼防震基座、半导体生产线减震底座、光电子检测设备隔振台、无尘级设备减震支架半导体芯片制造企业、晶圆加工无尘车间、光电子器件生产工厂、半导体封装测试企业、光学元器件生产企业、精密电子制造企业、无尘室工程配套企业、精密仪器制造企业、微电子生产企业、电子洁净工程配套企业 · 已售
实用新型
专利号2019213157767
专利类型实用新型
专利状态已售
专利领域集成电路无尘车间机台载重基座 承重防微震基座 半导体光电子无尘室刚性基座 隔振基座 高架地板 耗散型静电地板 半导体洁净室设备防震基座 光刻机可调支脚座 焊接转盘 集成电路设备半导体无尘室减震、光电子设备隔振、无尘级防震基座、精密设备减震结构、洁净室阻尼隔振半导体无尘室减震基座、光电子设备防震基座、无尘室精密设备隔振底座、洁净车间设备减震台晶圆厂无尘室减震基座、芯片生产设备隔振底座、光电子洁净室防震台、半导体封装测试减震基座、光学器件生产隔振装置、无尘室精密仪器减震台、洁净车间阻尼防震基座、半导体生产线减震底座、光电子检测设备隔振台、无尘级设备减震支架半导体芯片制造企业、晶圆加工无尘车间、光电子器件生产工厂、半导体封装测试企业、光学元器件生产企业、精密电子制造企业、无尘室工程配套企业、精密仪器制造企业、微电子生产企业、电子洁净工程配套企业
专利价格****
公开(公告)号2019213157767
高企状态已报高企
缴费日期2026-09-15

专利解读

《一种用于半导体及光电子无尘室的减震基座》是一实用新型,专利号为 2019213157767,当前法律状态为已售,高新资质:已报高企,所属技术领域包括:集成电路无尘车间机台载重基座 承重防微震基座 半导体光电子无尘室刚性基座 隔振基座 高架地板 耗散型静电地板 半导体洁净室设备防震基座 光刻机可调支脚座 焊接转盘 集成电路设备半导体无尘室减震、光电子设备隔振、无尘级防震基座、精密设备减震结构、洁净室阻尼隔振半导体无尘室减震基座、光电子设备防震基座、无尘室精密设备隔振底座、洁净车间设备减震台晶圆厂无尘室减震基座、芯片生产设备隔振底座、光电子洁净室防震台、半导体封装测试减震基座、光学器件生产隔振装置、无尘室精密仪器减震台、洁净车间阻尼防震基座、半导体生产线减震底座、光电子检测设备隔振台、无尘级设备减震支架半导体芯片制造企业、晶圆加工无尘车间、光电子器件生产工厂、半导体封装测试企业、光学元器件生产企业、精密电子制造企业、无尘室工程配套企业、精密仪器制造企业、微电子生产企业、电子洁净工程配套企业。该专利权属清晰,可通过正规流程办理转让,适用于企业技术升级、资质申报与战略布局。赋翼网提供从选品、尽调、合同签订到官方著录项目变更(过户)的一站式专利转让服务,专业顾问全程协助,确保交易合规、安全、高效。


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专利价值

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