一种半导体生产洁净室的紧固结构

所属领域:集成电路无尘车间机台载重基座 承重防微震基座 半导体光电子无尘室刚性基座 隔振基座 高架地板 耗散型静电地板 半导体洁净室设备防震基座 光刻机可调支脚座 焊接转盘 集成电路设备 · 已售
一种半导体生产洁净室的紧固结构实用新型
专利号2021224908998
专利类型实用新型
专利状态已售
专利领域集成电路无尘车间机台载重基座 承重防微震基座 半导体光电子无尘室刚性基座 隔振基座 高架地板 耗散型静电地板 半导体洁净室设备防震基座 光刻机可调支脚座 焊接转盘 集成电路设备
专利价格****
公开(公告)号2021224908998
IPC分类F16M11/04(2006.01)I;F16M11/10(2006.01)I
公开日2022-06-03
申请人江苏瑞鑫集成电路设备有限公司
发明人商富彬
专利权人江苏瑞鑫集成电路设备有限公司
授权公告号CN216666959U
高企状态已报高企

专利摘要

本实用新型属于半导体生产技术领域,尤其为一种半导体生产洁净室的紧固结构,包括第一固定板,所述第一固定板一端边部焊接有导向滑板,所述导向滑板外表面一侧安装有第二固定板,所述第二固定板一端边部开设有导向滑孔,所述第一固定板一端四边角处和第二固定板一端四边角处均开设有连接孔,所述连接孔内部安装有连接螺栓。通过限位滑孔、限位螺柱和限位螺帽的配合使用,可以对支撑板进行固定,便于工作人员对支撑底板的使用,通过第一固定板、第二固定板、支撑板和支撑底板的配合使用,可以对支撑腿进行辅助支撑,可以使支撑腿安装的更加稳定,便于工作人员对支撑腿的使用。


专利解读

《一种半导体生产洁净室的紧固结构》是一实用新型,专利号为 2021224908998,当前法律状态为已售,由江苏瑞鑫集成电路设备有限公司提出申请,发明人为商富彬,公开(公告)日期为2022-06-03,国际专利分类号(IPC)为 F16M11/04(2006.01)I;F16M11/10(2006.01)I,高新资质:已报高企,所属技术领域包括:集成电路无尘车间机台载重基座 承重防微震基座 半导体光电子无尘室刚性基座 隔振基座 高架地板 耗散型静电地板 半导体洁净室设备防震基座 光刻机可调支脚座 焊接转盘 集成电路设备。该专利权属清晰,可通过正规流程办理转让,适用于企业技术升级、资质申报与战略布局。赋翼网提供从选品、尽调、合同签订到官方著录项目变更(过户)的一站式专利转让服务,专业顾问全程协助,确保交易合规、安全、高效。专利摘要:本实用新型属于半导体生产技术领域,尤其为一种半导体生产洁净室的紧固结构,包括第一固定板,所述第一固定板一端边部焊接有导向滑板,所述导向滑板外表面一侧安装有第二固定板,所述第二固定板一端边部开设有导向滑孔,所述第一固定板一端四边角处和第二固定板一端四边角处均开设有连接孔,所述连接孔内部安装有连接螺栓。通过限位滑孔、限位螺柱和限位螺帽的配合使用,可以对支撑板进行固定,便于工作人员对支撑底板的使用,通过第一固定板、第二固定板、支撑板和支撑底板的配合使用,可以对支撑腿进行辅助支撑,可以使支撑腿安装的更加稳定,便于工作人员对支撑腿的使用。


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