一种具有高极限工作温度的金属纳米薄膜电极的制备方法

本申请公开了一种具有高极限工作温度的金属纳米薄膜电极的制备方法，涉及纳米薄膜电极领域，该方法在真空镀膜腔室中，利用多靶位电子束蒸发镀膜仪使用金属靶材在硅片基底表面制备纳米级厚度的金属纳米薄膜，然后切换至使用铝靶材，并利用多靶位电子束蒸发镀膜仪使用铝靶材在金属纳米薄膜表面制备具有预定纳米级厚度的铝纳米薄膜，制备得到金属纳米薄膜电极。铝纳米薄膜在高温下稳定吸附在金属纳米薄膜表面，且厚度可控，表面平整，与金属纳米薄膜表面结合强度高。铝纳米薄膜在空气中氧化形成的氧化铝膜可有效避免金属纳米薄膜的高温氧化，从而有利于提高金属纳米薄膜电极的抗氧化性，使得金属纳米薄膜电极能够具有较高的极限工作温度。

《一种具有高极限工作温度的金属纳米薄膜电极的制备方法》是一发明专利，专利号为 2023109699260，当前法律状态为已下证，由江南大学提出申请，发明人为吴宏荣;汤文慧;赵军华，申请日期为2023-08-02，公开（公告）日期为2026-04-24，国际专利分类号（IPC）为 C23C 14/30 (2006.01)，高新资质：未报高企，所属技术领域包括：二维材料表征、异质结层数识别、光学表征方法、二维纳米薄膜、光学成像检测、二维材料厚度判别、异质结表征、光谱层数识别、二维材料质检、光学无损检测、二维/三维异质结、薄膜层数检测、二维材料表征算法、光学表征、二维材料筛查。该专利已下发证书，权利稳定，适合直接办理转让过户，是企业申报高企、项目招投标、质押融资的优质标的。赋翼网提供从选品、尽调、合同签订到官方著录项目变更（过户）的一站式专利转让服务，专业顾问全程协助，确保交易合规、安全、高效。专利摘要：本申请公开了一种具有高极限工作温度的金属纳米薄膜电极的制备方法，涉及纳米薄膜电极领域，该方法在真空镀膜腔室中，利用多靶位电子束蒸发镀膜仪使用金属靶材在硅片基底表面制备纳米级厚度的金属纳米薄膜，然后切换至使用铝靶材，并利用多靶位电子束蒸发镀膜仪使用铝靶材在金属纳米薄膜表面制备具有预定纳米级厚度的铝纳米薄膜，制备得到金属纳米薄膜电极。铝纳米薄膜在高温下稳定吸附在金属纳米薄膜表面，且厚度可控，表面平整，与金属纳米薄膜表面结合强度高。铝纳米薄膜在空气中氧化形成的氧化铝膜可有效避免金属纳米薄膜的高温氧化，从而有利于提高金属纳米薄膜电极的抗氧化性，使得金属纳米薄膜电极能够具有较高的极限工作温度。

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