一种透光微机电超声换能器及其制备方法

本发明公开了一种透光微机电超声换能器及其制备方法，涉及超声换能器领域，方法主要包括在透光基底上沉积公共底电极；在公共底电极上旋涂光敏聚合物并曝光显影，形成具有空腔结构和支撑结构的光敏聚合物透光基底晶圆；使用键合机，利用晶圆黏附层键合技术，将光敏聚合物透光基底晶圆与正反面均沉积有低应力氮化硅薄膜的硅晶圆键合固化，得到键合固化晶圆；使用干湿刻蚀方法去除位于键合固化晶圆外表面的低应力氮化硅薄膜及硅晶圆，保留位于键合固化晶圆内部的低应力氮化硅薄膜，并在保留的薄膜上沉积公共顶电极和金属层，以使得到的金属导线贯穿公共顶电极。本发明具有可透光、不会阻挡光路的优点，同时具备较大的相对带宽。

《一种透光微机电超声换能器及其制备方法》是一发明专利，专利号为 2023111396158，当前法律状态为已下证，由内江师范学院;四川博康达智能电子系统有限公司提出申请，发明人为余远昱;魏丽君;王久江;张双;徐晶，申请日期为2023-09-05，公开（公告）日期为2026-01-09，国际专利分类号（IPC）为 B06B1/02(2006.01)I，所属技术领域包括：工业无损检测生物医学超声成像光声成像距离检测水声成像人机交互光声显微成像电容式超声换能器压电式超声换能器CMUTPMUT。该专利已下发证书，权利稳定，适合直接办理转让过户，是企业申报高企、项目招投标、质押融资的优质标的。赋翼网提供从选品、尽调、合同签订到官方著录项目变更（过户）的一站式专利转让服务，专业顾问全程协助，确保交易合规、安全、高效。专利摘要：本发明公开了一种透光微机电超声换能器及其制备方法，涉及超声换能器领域，方法主要包括在透光基底上沉积公共底电极；在公共底电极上旋涂光敏聚合物并曝光显影，形成具有空腔结构和支撑结构的光敏聚合物透光基底晶圆；使用键合机，利用晶圆黏附层键合技术，将光敏聚合物透光基底晶圆与正反面均沉积有低应力氮化硅薄膜的硅晶圆键合固化，得到键合固化晶圆；使用干湿刻蚀方法去除位于键合固化晶圆外表面的低应力氮化硅薄膜及硅晶圆，保留位于键合固化晶圆内部的低应力氮化硅薄膜，并在保留的薄膜上沉积公共顶电极和金属层，以使得到的金属导线贯穿公共顶电极。本发明具有可透光、不会阻挡光路的优点，同时具备较大的相对带宽。

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