一种晶圆坯料化学刻蚀抛光处理装置

本实用新型属于晶圆加工装置技术领域，且公开了一种晶圆坯料化学刻蚀抛光处理装置，包括固定筒，所述固定筒的外表面固定套接有挡板，所述挡板的左侧固定安装有侧板。本实用新型通过设置竖杆、转动板、圆块和活动框，当在对晶圆坯料本体进行抛光处理时，可以通过启动动力电机，使得转轴带动圆板发生旋转，进而使得移动块带动圆块以转轴为轴心进行转动，使得圆块挤压推动活动框的内表面，带动活动框发生转动，使得活动框带动转动板以竖杆为轴心进行摆动，从而使得晶圆坯料本体能够不断的在抛光盘的顶部进行来回摆动，使得抛光液能够渗透进晶圆坯料本体和抛光盘之间，从而提高了对晶圆坯料本体的抛光效果。

《一种晶圆坯料化学刻蚀抛光处理装置》是一实用新型，专利号为 2024232695889，当前法律状态为已下证，由苏州岽睿微电子科技有限公司提出申请，发明人为陈纲庆;王族兵;黄学军;顾海华;戴世祥，申请日期为2024-12-30，公开（公告）日期为2026-01-09，国际专利分类号（IPC）为 B24B37/10(2012.01)I;B24B37/30(2012.01)I;B24B47/12(2006.01)I;B24B47/22(2006.01)I;B24B47/04(2006.01)I;B24B57/02(2006.01)I;B24B7/22(2006.01)I，高新资质：未报高企，所属技术领域包括：微电子加工 半导体加工 芯片基材加工 半导体晶圆坯料加工 单晶硅晶圆坯料化学刻蚀抛光 硅片坯料化学机械复合抛光。该专利已下发证书，权利稳定，适合直接办理转让过户，是企业申报高企、项目招投标、质押融资的优质标的。赋翼网提供从选品、尽调、合同签订到官方著录项目变更（过户）的一站式专利转让服务，专业顾问全程协助，确保交易合规、安全、高效。专利摘要：本实用新型属于晶圆加工装置技术领域，且公开了一种晶圆坯料化学刻蚀抛光处理装置，包括固定筒，所述固定筒的外表面固定套接有挡板，所述挡板的左侧固定安装有侧板。本实用新型通过设置竖杆、转动板、圆块和活动框，当在对晶圆坯料本体进行抛光处理时，可以通过启动动力电机，使得转轴带动圆板发生旋转，进而使得移动块带动圆块以转轴为轴心进行转动，使得圆块挤压推动活动框的内表面，带动活动框发生转动，使得活动框带动转动板以竖杆为轴心进行摆动，从而使得晶圆坯料本体能够不断的在抛光盘的顶部进行来回摆动，使得抛光液能够渗透进晶圆坯料本体和抛光盘之间，从而提高了对晶圆坯料本体的抛光效果。

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