一种皮肤触觉仿生系统及其制备方法
发明专利本发明公开了一种皮肤触觉仿生系统及其制备方法,该系统从下至上依次包括柔性衬底、底电极薄膜、氧化锌纳米线层、缺氧氧化锌薄膜及顶电极薄膜;制备时先对柔性衬底的表面进行氢等离子体处理,在等离子体处理后的柔性基底上形成底电极薄膜,并采用激光焊接方式在该底电极薄膜上固定连接氧化锌纳米线层,最后,在氧化锌纳米线层上依次形成缺氧氧化锌薄膜及顶电极薄膜,并通过电极引线实现底电极薄膜、顶电极薄膜与脉冲电源连接。本发明的皮肤触觉仿生系统能够具有优异的循环保持性和抗疲劳性;同时,其制备方法能够在界面处预置缺陷层,降低了底电极与纳米线的接触势垒。
《一种皮肤触觉仿生系统及其制备方法》是一发明专利,专利号为 2022106274033,当前法律状态为已下证,由江苏师范大学提出申请,发明人为齐红霞;刘菁,申请日期为2022-06-05,公开(公告)日期为2024-04-05,国际专利分类号(IPC)为 G01L1/00(2006.01)I;B82Y15/00(2011.01)I;B82Y40/00(2011.01)I,高新资质:未报高企,所属技术领域包括:柔性电子皮肤 皮肤触觉仿系统 皮肤触觉神经突触模拟 微纳电子器件 神经形态计算 激光焊接微纳加工 人机交互 可穿戴柔性器件 抗疲劳电子材料。该专利已下发证书,权利稳定,适合直接办理转让过户,是企业申报高企、项目招投标、质押融资的优质标的。赋翼网提供从选品、尽调、合同签订到官方著录项目变更(过户)的一站式专利转让服务,专业顾问全程协助,确保交易合规、安全、高效。专利摘要:本发明公开了一种皮肤触觉仿生系统及其制备方法,该系统从下至上依次包括柔性衬底、底电极薄膜、氧化锌纳米线层、缺氧氧化锌薄膜及顶电极薄膜;制备时先对柔性衬底的表面进行氢等离子体处理,在等离子体处理后的柔性基底上形成底电极薄膜,并采用激光焊接方式在该底电极薄膜上固定连接氧化锌纳米线层,最后,在氧化锌纳米线层上依次形成缺氧氧化锌薄膜及顶电极薄膜,并通过电极引线实现底电极薄膜、顶电极薄膜与脉冲电源连接。本发明的皮肤触觉仿生系统能够具有优异的循环保持性和抗疲劳性;同时,其制备方法能够在界面处预置缺陷层,降低了底电极与纳米线的接触势垒。
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