一种SVG显影喷淋装置（半导体制造、半导体光刻、晶圆、芯片显影、集成电路制造、微电子元件、太阳能电池片）

本实用新型公开了一种SVG显影喷淋装置，其包括：壳体、第一旋转驱动装置、第二旋转驱动装置、水平转盘、竖直转盘、显影液喷嘴和纯水喷嘴，所述第一旋转驱动装置竖向设置在壳体内腔底部，所述水平转盘设置在第一旋转驱动装置的顶部，所述水平转盘上设置有硅片载具，所述第二旋转驱动装置水平设置在壳体的内壁上，所述竖直转盘设置在第二旋转驱动装置的前端并位于硅片载具的上方，所述显影液喷嘴和纯水喷嘴沿竖直转盘的不同径向设置在竖直转盘的正面，所述显影液喷嘴和纯水喷嘴的夹角为60~120度。本实用新型所述的SVG显影喷淋装置，通过第二旋转驱动装置进行竖直转盘的旋转驱动，自动进行显影液喷嘴和纯水喷嘴的切换，并能避免相互影响。

《一种SVG显影喷淋装置（半导体制造、半导体光刻、晶圆、芯片显影、集成电路制造、微电子元件、太阳能电池片）》是一实用新型，专利号为 2022219287323，当前法律状态为已售，由张家港意发功率半导体有限公司提出申请，发明人为王鹏;周炳;徐君成，公开（公告）日期为2023-01-06，国际专利分类号（IPC）为 B05B13/02(2006.01)I;G03F7/30(2006.01)I，高新资质：已报高企，所属技术领域包括：半导体制造、半导体光刻、晶圆、芯片显影、集成电路制造、微电子元件、太阳能电池片。该专利权属清晰，可通过正规流程办理转让，适用于企业技术升级、资质申报与战略布局。赋翼网提供从选品、尽调、合同签订到官方著录项目变更（过户）的一站式专利转让服务，专业顾问全程协助，确保交易合规、安全、高效。专利摘要：本实用新型公开了一种SVG显影喷淋装置，其包括：壳体、第一旋转驱动装置、第二旋转驱动装置、水平转盘、竖直转盘、显影液喷嘴和纯水喷嘴，所述第一旋转驱动装置竖向设置在壳体内腔底部，所述水平转盘设置在第一旋转驱动装置的顶部，所述水平转盘上设置有硅片载具，所述第二旋转驱动装置水平设置在壳体的内壁上，所述竖直转盘设置在第二旋转驱动装置的前端并位于硅片载具的上方，所述显影液喷嘴和纯水喷嘴沿竖直转盘的不同径向设置在竖直转盘的正面，所述显影液喷嘴和纯水喷嘴的夹角为60~120度。本实用新型所述的SVG显影喷淋装置，通过第二旋转驱动装置进行竖直转盘的旋转驱动，自动进行显影液喷嘴和纯水喷嘴的切换，并能避免相互影响。

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