一种便于切换的SVG显影喷淋机构（半导体制造、半导体光刻、晶圆、芯片显影、集成电路制造、微电子元件、太阳能电池片）

本实用新型公开了一种便于切换的SVG显影喷淋机构，其包括：喷淋箱、滑座、横移驱动装置、载台、显影液喷头和纯水喷头，所述滑座可横移地设置在喷淋箱中并位于载台的上方，所述显影液喷头和纯水喷头横向前后间隔设置在滑座上并分别指向下方，所述滑座上竖向设置有推板，所述横移驱动装置横向连接在推板与喷淋箱内壁之间，所述喷淋箱中设置有纵向延伸的第一导流板和第二导流板，所述第一导流板位于显影液喷头前移的路径下方，所述第二导流板位于纯水喷头后移的路径下方。本实用新型所述的便于切换的SVG显影喷淋机构，可以进行显影液喷头和纯水喷头的切换，并避免残留的显影液或纯水滴落在硅片上的问题。

《一种便于切换的SVG显影喷淋机构（半导体制造、半导体光刻、晶圆、芯片显影、集成电路制造、微电子元件、太阳能电池片）》是一实用新型，专利号为 2022221938642，当前法律状态为已售，由张家港意发功率半导体有限公司提出申请，发明人为周炳，申请日期为2022-08-20，公开（公告）日期为2023-10-10，国际专利分类号（IPC）为 G03F7/30(2006.01)I，高新资质：未报高企，所属技术领域包括：半导体制造、半导体光刻、晶圆、芯片显影、集成电路制造、微电子元件、太阳能电池片。该专利权属清晰，可通过正规流程办理转让，适用于企业技术升级、资质申报与战略布局。赋翼网提供从选品、尽调、合同签订到官方著录项目变更（过户）的一站式专利转让服务，专业顾问全程协助，确保交易合规、安全、高效。专利摘要：本实用新型公开了一种便于切换的SVG显影喷淋机构，其包括：喷淋箱、滑座、横移驱动装置、载台、显影液喷头和纯水喷头，所述滑座可横移地设置在喷淋箱中并位于载台的上方，所述显影液喷头和纯水喷头横向前后间隔设置在滑座上并分别指向下方，所述滑座上竖向设置有推板，所述横移驱动装置横向连接在推板与喷淋箱内壁之间，所述喷淋箱中设置有纵向延伸的第一导流板和第二导流板，所述第一导流板位于显影液喷头前移的路径下方，所述第二导流板位于纯水喷头后移的路径下方。本实用新型所述的便于切换的SVG显影喷淋机构，可以进行显影液喷头和纯水喷头的切换，并避免残留的显影液或纯水滴落在硅片上的问题。

海量优质专利即买即用，四大核心优势助您弯道超车：
🏆 拿资质，享红利：高企认定、专精特新必备！轻松获取政府补贴、税收减免，招投标直接加分！
💎 增信誉，融资金：支持实缴注册资金，彰显企业硬实力；支持专利质押贷款，盘活现金流，扩张不缺钱！
🔥 强背书，防抄袭：印上“专利产品”，客户更信赖！构建技术壁垒，把竞争对手挡在门外，稳占市场份额！
🚀 省时间，快变现：告别漫长研发与高风险！优质专利即买即用，让技术立刻变成真金白银的利润！