一种集成光电子器件制造用蚀刻装置

本实用新型涉及蚀刻机技术领域，具体为一种集成光电子器件制造用蚀刻装置，包括底板，所述底板的底面四角固定连接有四个支撑腿，所述底板的顶面上固定连接有挡板，所述挡板上对称设置有两个固定装置，所述固定装置包括活动板、弹簧、连接杆、夹紧板、胶布、刮板，所述挡板侧面开设有内腔，所述活动板滑动连接在内腔中，所述弹簧一端固定连接在挡板的内腔内壁上。通过设置固定装置，利用弹簧形变产生的弹力挤压活动板，从而推动夹紧板始终将集成光电子器件夹紧，解决了现有蚀刻机在进行作业时，集成光电器件在蚀刻过程中容易受蚀刻液冲击发生偏移，导致蚀刻部位不准确，影响蚀刻品质的问题。

《一种集成光电子器件制造用蚀刻装置》是一实用新型，专利号为 2023207835317，当前法律状态为已下证，由泰州市大洋数控设备有限公司提出申请，发明人为刁德培，申请日期为2023-04-11，公开（公告）日期为2023-10-31，国际专利分类号（IPC）为 H01L21/67(2006.01)I;H01L21/687(2006.01)I，所属技术领域包括：金属制品 集成光电子器件 电子器件 集成电路 光电技术 微电子。该专利已下发证书，权利稳定，适合直接办理转让过户，是企业申报高企、项目招投标、质押融资的优质标的。赋翼网提供从选品、尽调、合同签订到官方著录项目变更（过户）的一站式专利转让服务，专业顾问全程协助，确保交易合规、安全、高效。专利摘要：本实用新型涉及蚀刻机技术领域，具体为一种集成光电子器件制造用蚀刻装置，包括底板，所述底板的底面四角固定连接有四个支撑腿，所述底板的顶面上固定连接有挡板，所述挡板上对称设置有两个固定装置，所述固定装置包括活动板、弹簧、连接杆、夹紧板、胶布、刮板，所述挡板侧面开设有内腔，所述活动板滑动连接在内腔中，所述弹簧一端固定连接在挡板的内腔内壁上。通过设置固定装置，利用弹簧形变产生的弹力挤压活动板，从而推动夹紧板始终将集成光电子器件夹紧，解决了现有蚀刻机在进行作业时，集成光电器件在蚀刻过程中容易受蚀刻液冲击发生偏移，导致蚀刻部位不准确，影响蚀刻品质的问题。

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