具有纳米晶/非晶复合结构或单一非晶结构的AlCrTiSiN纳米复合涂层及其制备

本发明公开了一种具有纳米晶/非晶复合结构或单一非晶结构的AlCrTiSiN复合涂层及其制备。该涂层采用脉冲直流磁控溅射和射频直流磁控溅射复合技术沉积而成，靶材选用AlCrTi合金靶与单质Si靶。合金靶与直流电源连接，单质Si靶与射频电源连接。镀膜时开启AlCrTi合金靶，调整偏压至‑20～150V并将真空室压强调至0.3～1.0Pa，沉积AlCrTi过渡层，沉积时间10～30min。保持AlCrTi开启并通入反应气体N2，开启Si靶沉积AlCrTiSiN纳米复合涂层。本发明研制的AlCrTiSiN纳米复合涂层制备工艺简单，成分可控，可重复性好，易于工业化生产，具有很强的实用性。

《具有纳米晶/非晶复合结构或单一非晶结构的AlCrTiSiN纳米复合涂层及其制备》是一发明专利，专利号为 2022114620273，当前法律状态为已下证，由天津职业技术师范大学（中国职业培训指导教师进修中心）提出申请，发明人为范其香;张硕;郭明璐;吴正环;王铁钢;曹凤婷，申请日期为2022-11-22，公开（公告）日期为2023-10-20，国际专利分类号（IPC）为 C23C14/06(2006.01)I;C23C14/35(2006.01)I;C23C14/16(2006.01)I;C23C14/02(2006.01)I，高新资质：未报高企，所属技术领域包括：纳米复合涂层、纳米涂层、抗高温氧化、耐蚀性、耐磨涂层、材料涂层、零部件涂层、高硬度、金属涂层、纳米涂料。该专利已下发证书，权利稳定，适合直接办理转让过户，是企业申报高企、项目招投标、质押融资的优质标的。赋翼网提供从选品、尽调、合同签订到官方著录项目变更（过户）的一站式专利转让服务，专业顾问全程协助，确保交易合规、安全、高效。专利摘要：本发明公开了一种具有纳米晶/非晶复合结构或单一非晶结构的AlCrTiSiN复合涂层及其制备。该涂层采用脉冲直流磁控溅射和射频直流磁控溅射复合技术沉积而成，靶材选用AlCrTi合金靶与单质Si靶。合金靶与直流电源连接，单质Si靶与射频电源连接。镀膜时开启AlCrTi合金靶，调整偏压至‑20～150V并将真空室压强调至0.3～1.0Pa，沉积AlCrTi过渡层，沉积时间10～30min。保持AlCrTi开启并通入反应气体N2，开启Si靶沉积AlCrTiSiN纳米复合涂层。本发明研制的AlCrTiSiN纳米复合涂层制备工艺简单，成分可控，可重复性好，易于工业化生产，具有很强的实用性。

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