集成式湿氧制备装置
实用新型本申请提供了一种集成式湿氧制备装置,包括:箱体,所述箱体外表面设有进水口,进气口和排气口;湿氧制备机,所述湿氧制备机固定在箱体内,包括与进水口连接的进水管,与进气口连接的进气管和与排气口连接的排气管;控制装置,所述控制装置设置在箱体内,用于控制湿氧制备机的工作;操作按钮,所述操作按钮设置在箱体表面,并与控制装置电连接;显示装置,所述显示装置设置在箱体表面,并与控制装置电连接。本申请提供的集成式湿氧制备装置将湿氧制备机及其控制装置集成一体,能够提升空间利用率,提升制备湿氧的效率。
《集成式湿氧制备装置》是一实用新型,专利号为 2025221661332,当前法律状态为已下证,由苏州富泽环境技术有限公司提出申请,发明人为朱国辉;孟飞;丁海亮,公开(公告)日期为2026-08-07,国际专利分类号(IPC)为 F16M1/00(2006.01)I,高新资质:未报高企,所属技术领域包括:(半导体工艺设备 湿氧制备装置 半导体制造设备 氧化炉配套供气设备)。该专利已下发证书,权利稳定,适合直接办理转让过户,是企业申报高企、项目招投标、质押融资的优质标的。赋翼网提供从选品、尽调、合同签订到官方著录项目变更(过户)的一站式专利转让服务,专业顾问全程协助,确保交易合规、安全、高效。专利摘要:本申请提供了一种集成式湿氧制备装置,包括:箱体,所述箱体外表面设有进水口,进气口和排气口;湿氧制备机,所述湿氧制备机固定在箱体内,包括与进水口连接的进水管,与进气口连接的进气管和与排气口连接的排气管;控制装置,所述控制装置设置在箱体内,用于控制湿氧制备机的工作;操作按钮,所述操作按钮设置在箱体表面,并与控制装置电连接;显示装置,所述显示装置设置在箱体表面,并与控制装置电连接。本申请提供的集成式湿氧制备装置将湿氧制备机及其控制装置集成一体,能够提升空间利用率,提升制备湿氧的效率。
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