一种单晶硅生产用硅片清洗装置

本发明涉及半导体制造技术领域，具体涉及一种单晶硅生产用硅片清洗装置，包括硅片花篮、夹持机构、移动组件和滑动杆，夹持机构设置在硅片花篮内，夹持机构包括第一夹持组件、第二夹持组件……第N夹持组件，相邻夹持组件之间用于夹持硅片；移动组件包括第一导向板和第二导向板，第一导向板和第二导向板均能够滑动地设置在硅片花篮内，第一导向板上设置有第一轨道，第二导向板上设置有第二轨道；滑动杆能够滑动地设置在硅片花篮内，滑动杆设置在第一导向板和第二导向板之间；滑动杆沿着第一轨道和第二轨道运动时用以清洗硅片。通过设置第一导向板、第二导向板和滑动杆，使得硅片被夹持部分间歇漏出，从而使得硅片被夹持部分能够被清洗。

《一种单晶硅生产用硅片清洗装置》是一发明专利，专利号为 2022114727533，当前法律状态为已下证，由南通康成电子科技有限公司提出申请，发明人为王波;陶小鸥，申请日期为2022-11-23，公开（公告）日期为2023-10-17，国际专利分类号（IPC）为 H01L21/67(2006.01)I;H01L21/673(2006.01)I;H01L21/687(2006.01)I，所属技术领域包括：电子科技半导体单晶硅太阳能电池。该专利已下发证书，权利稳定，适合直接办理转让过户，是企业申报高企、项目招投标、质押融资的优质标的。赋翼网提供从选品、尽调、合同签订到官方著录项目变更（过户）的一站式专利转让服务，专业顾问全程协助，确保交易合规、安全、高效。专利摘要：本发明涉及半导体制造技术领域，具体涉及一种单晶硅生产用硅片清洗装置，包括硅片花篮、夹持机构、移动组件和滑动杆，夹持机构设置在硅片花篮内，夹持机构包括第一夹持组件、第二夹持组件……第N夹持组件，相邻夹持组件之间用于夹持硅片；移动组件包括第一导向板和第二导向板，第一导向板和第二导向板均能够滑动地设置在硅片花篮内，第一导向板上设置有第一轨道，第二导向板上设置有第二轨道；滑动杆能够滑动地设置在硅片花篮内，滑动杆设置在第一导向板和第二导向板之间；滑动杆沿着第一轨道和第二轨道运动时用以清洗硅片。通过设置第一导向板、第二导向板和滑动杆，使得硅片被夹持部分间歇漏出，从而使得硅片被夹持部分能够被清洗。

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